Nouvelle couche de couplage multifonctionnelle RKKY pour un antiferromagnétique synthétique perpendiculaire ultrafin.

Résumé Une nouvelle couche de couplage antiferromagnétique multifonctionnelle (MF-AFC) combinant le Ru et le W est révélée pour réaliser une couche antiferromagnétique synthétique perpendiculaire (pSAF) extrêmement mince (3,8 nm), compatible en bout de ligne ainsi que magnétiquement et électriquement stable, essentielle pour les applications de mémoire spintronique et de dispositifs logiques. En plus de réaliser un couplage antiferromagnétique RKKY, cette MF-AFC agit également comme un puits de bore et une couche de rupture de texture. Une optimisation détaillée de l'épaisseur des différentes couches impliquées a été réalisée pour obtenir une couche de référence MF-AFC extrêmement fine avec des propriétés magnétiques stables, ce qui permet la réalisation de cellules STT-MRAM de moins de 20 nm. Cette couche de référence ultra-mince présente deux avantages importants : elle facilite la gravure de la couche de référence et minimise le champ dipolaire agissant sur la magnétisation de la couche de stockage.