Caractérisation optique à 77 µm d'une plateforme intégrée basée sur des guides d'ondes en chalcogénure pour des applications de détection dans l'infrarouge moyen.

Résumé Une plateforme intégrée de séléniure fonctionnant dans l'infrarouge moyen a été conçue, fabriquée et caractérisée optiquement à 7,7 μm. Des structures multicouches Ge-Sb-Se ont été déposées par pulvérisation magnétron RF. À l'aide de la photolithographie i-line et de la gravure ionique réactive à base de fluor, les guides d'ondes à crête ont été traités comme des guides d'ondes à jonction Y, en spirale et en forme de S. La propagation optique monomode à 7,7 μm a été observée par imagerie optique en champ proche et des pertes de propagation optique de 2,5dB/cm sont mesurées. Des limites de détection de 14,2 ppm et 1,6 ppm pour le méthane et le protoxyde d'azote, respectivement, pourraient être potentiellement mesurées en utilisant cette plateforme comme capteur de champ évanescent. Par conséquent, ces résultats technologiques, expérimentaux et théoriques représentent une première étape vers le développement d'un capteur optique intégré fonctionnant dans la gamme de longueurs d'onde de l'infrarouge moyen. 2016 Optical Society of America.