Détection chimique dans l'infrarouge moyen à l'aide d'un transducteur intégré en chalcogénure.

Résumé Les techniques spectroscopiques dans l'infrarouge moyen (2-20 µm) sont largement utilisées pour identifier les substances chimiques, permettant des mesures quantitatives en temps réel dans les gaz, les liquides et les solides. La tendance actuelle est à la miniaturisation des capteurs optiques, remplaçant les instruments de laboratoire encombrants (FTIR, monochromateurs, ATR, etc.) par des dispositifs de laboratoire sur puce offrant portabilité, stabilité mécanique, immunité aux bruits électromagnétiques et possibilité de production en série. Ces dernières années, des dispositifs optiques intégrés ont été fabriqués à l'aide de différentes technologies telles que GaAs, Si, Si3N4 et Ge. Les verres de chalcogénure sont également apparus comme de bons candidats pour la fabrication de circuits intégrés photoniques dans l'infrarouge moyen grâce à leur capacité à être déposés sous forme de films minces, leur large transparence (jusqu'à 20 µm), leur potentiel à être dopés avec des ions de terres rares et leur accordabilité de l'indice de réfraction obtenue en variant la composition du verre.