Suivi de la fréquence de résonance pour les gyroscopes MEMS à l'aide de l'identification récursive.

Résumé Les gyroscopes MEMS sont généralement constitués de deux systèmes résonnants : les modes d'entraînement et de détection. Il est bien connu que le suivi de la résonance du mode d'entraînement est crucial pour que le dispositif fonctionne avec précision. Dans cet article, nous proposons une approche basée sur l'identification récursive qui permet d'estimer la fréquence de résonance au cours du temps. L'approche proposée se rapporte à une conguration de contrôle récemment développée qui est basée sur le cadre de contrôle H ∞. * Le soutien financier de BPI France (projet Next4MEMS) est vivement remercié.