La symétrie joue un rôle clé dans l'effacement des caractéristiques des surfaces à motifs.

Auteurs
  • BENZAQUEN Michael
  • ILTON Mark
  • MASSA Michael v.
  • SALEZ Thomas
  • FOWLER Paul
  • RAPHAEL Elie
  • DALNOKI VERESS Kari
Date de publication
2015
Type de publication
Article de journal
Résumé Nous rapportons comment la relaxation des motifs préparés sur un film mince peut être contrôlée en manipulant la symétrie de la forme initiale. en manipulant la symétrie de la forme initiale. La validité de la théorie de la lubrification pour la relaxation des profils de surface par capillarité est La validité de la théorie de la lubrification pour la relaxation des profils de surface par capillarité est vérifiée par des mesures de microscopie à force atomique, effectuées sur des films qui ont été modelés à l'aide d'un anneau de pointe laser focalisé. films qui ont été modelés à l'aide d'un recuit par pointes laser focalisées. En particulier, nous observons que la forme du profil de surface à des moments tardifs est entièrement déterminée par la symétrie initiale de la perturbation. symétrie initiale de la perturbation, en accord avec la théorie. De plus, Dans ce régime, l'amplitude de la perturbation se relaxe comme une loi de puissance dans le temps, avec un exposant qui est également lié à la théorie. un exposant qui est également lié à la symétrie initiale. Ces résultats ont pertinence dans le contrôle dynamique des perturbations topographiques pour la nanolithographie et la mémoire à haute densité. la nanolithographie et le stockage de mémoire à haute densité.
Éditeur
AIP Publishing
Thématiques de la publication
  • ...
  • Pas de thématiques identifiées
Thématiques détectées par scanR à partir des publications retrouvées. Pour plus d’informations, voir https://scanr.enseignementsup-recherche.gouv.fr